二手 SEMITOOL SST 421-280 #9351561 待售

SEMITOOL SST 421-280是半導體工業中用於微加工工藝的光刻設備。它是一個全自動的濕式工作臺系統，結合了較短的工藝周期時間和較高的工藝質量保證以及最小的操作員輸入。這個單元適合於加工直徑達8英寸的晶片，並且包含一個從矽到硬化金屬的單個盒式到盒式基板級，用於處理一系列的基板。SEMITOOL SST-421-280有八種用於開發人員、蝕刻劑、中和劑和去除劑等工藝的試劑。它采用基於模塊化的機器控制器設計，允許設置和過程參數快速變化。該工具還能夠與自旋漂洗幹燥和等離子體加工等其他工藝相結合。此外,資產還提供了一整套診斷程序,例如溫度和周期計數監控。SST 421-280配備了自動端點檢測模型（EPD）,可實現精確的化學過程控制。該設備結合了熱級和光檢測器的優點，實時監測晶片的表面電阻率。此外,系統還提供了一個光學數據記錄器,該記錄器記錄循環日誌和參數,以實現進程的可追蹤性。最後，該裝置還配備了一個輸送機，既提供單晶片負載，又提供卸載能力以及批量裝載能力。輸送機還允許在蝕刻和灰化工藝之前對晶片進行非常精確的定位，以確保盡可能高的產量。SST-421-280是一種先進的光刻機床，旨在為半導體行業的廣泛應用提供高工藝質量的保證和靈活性。借助自動端點檢測工具、輸送機和全套診斷程序,該資產實現了精確且經濟高效的制造過程。