二手 SEMITOOL SST 421 #293765930 待售

SEMITOOL SST 421是為在現代半導體制造中實現高精度而設計的光刻設備。該系統能夠以最高的精度、速度和表面平坦度處理各種塑料和金屬元件。SEMITOOL SST-421是一個功能齊全的單元,將高級自動化與復雜的過程控制相結合。它具有許多獨特的功能,使其與其他系統區分開來。例如,專有的Process Intelligence Machine （PIS）允許工具即時監視和調整流程參數,以確保獲得最佳結果。此外,該資產還包括高度通用的多任務工具（MTT）,它允許在一個周期內執行多個進程。該模型還利用了先進的光學和機器人技術。其光學傳感設備提供高度和輪廓的精確非接觸測量，保證精度± 10nm，可重復性± 1.5nm。精密機器人速度快、精度高，能夠以最高± 1 µm的精度和高達200 pps的工藝頻率加工元件。SST 421專為易於集成和快速設置而設計。直觀的軟件允許系統的平穩控制和版本，以及簡單的數據記錄和程序更改。此外,該單元還設計用於多功能操作,具有一系列進紙器和模塊化組件。這種特性的組合使得它適合多過程應用。總之，SST-421是一種高度先進的光刻機床，在現代半導體制造中提供了無與倫比的精度、速度和表面平整度。其先進的自動化和過程控制特性，加上靈活的設計，使其能夠以最高的精度和效率處理元件。