二手 SEMITOOL SST 421 #9229861 待售

SEMITOOL SST 421是一款由SEMITOOL制造的光阻設備，是在半導體器件制造中高效制備用於光學光刻等步驟的基板的理想解決方案。該系統采用四站單機櫃配置,允許同時處理四個6"、8"和12"圓形晶片以提高吞吐量。系統的模塊化設計允許集成SEMITOOL Triline/Pilot Resist Filtration Unit（RF-0320）和Triline/Pilot Dispensing Machine（DPT-0320）。此外,SEMITOOL SST-421為用戶提供了廣泛的開發前和開發後烘焙選項以及工藝配方功能。SST 421采用符合人體工程學的設計,包括手動機械部件和自動移動部件,可實現精確且可重復的浴室幾何形狀。SEMITOOL Accudepth Technology精確的儀表可抵抗濃度和溫度,以確保在多個項目中均勻的薄膜厚度和可重復性。該工具還具有集成的抗風溫控制資產和集成的循環加熱器,可提供一致的抗風溫數據和可重復性。SST-421為用戶提供了多種功能,包括16英寸最大基板尺寸、單塗層臺階和不更換物理面罩的重復、多種開發選項（如傳統的手動開發油箱和四口袋油箱）,這兩種產品都是為實現最大效率而設計的,以及可變的切口寬度和可調節的剝離周期。該型號還具有自動診斷功能,可幫助消除手動維護的需要。SEMITOOL SST 421為用戶提供了許多好處,例如其獨特的設計旨在節省操作員時間,以及它與一系列抗蝕劑的兼容性。該設備具有廣泛的預、後烘焙操作以及對耐熱溫度和濃度的精確控制等特點，具有最大的工藝靈活性，具有優異的可重復性和性能。此外,SEMITOOL SST-421還配備了手動機械部件和自動移動部件,以幫助減少化學品消耗。因此,此系統非常適合各種流程,從小批量實施到大批量實施。