二手 SEMITOOL SST 421 #9292694 待售

SEMITOOL SST 421光刻系統是一種通用可靠的工具，用於各種半導體制造任務。它能夠塗覆基板，聚合光致抗蝕劑，條紋光致抗蝕劑，蝕刻基板。該機由脫離電離水控制、抗塗層和抗性條帶模塊、光刻膠和離子銑削模塊以及熱氧化烤箱組成。去離子化水控制模塊設有兩個蓄水池和水泵，設計用於輸送精確數量的去離子化水。水被用來沖洗底物，以及在其他操作，使其成為系統的組成部分。抗蝕性塗層和抗蝕性條帶模塊設計用於在基板上提供精確的塗層溶液,包括光致抗蝕劑。光致抗蝕劑和離子銑削模塊分別用於聚合光致抗蝕劑和蝕刻基板。它們都可以針對各種進程和幾何進行配置。熱氧化爐允許在基板上進行幾個氧化過程。它還擁有可調節的溫度設置和快速加熱元件，使用戶能夠在一個周期內完成多個氧化步驟。總體而言,SEMITOOL SST-421為各種半導體制造任務提供了靈活性和精確度。底物可以用去離子水沖洗，然後塗上光刻膠，紡成預定厚度。然後可以將光刻膠聚合在光刻膠和離子銑削模組中，蝕刻成所需的形狀。最後，基材可以在烤箱中進行氧化加工。這允許用戶在一個周期內完成復雜的半導體制造過程。此外，它的靈活性意味著它可以適應各種工藝和幾何形狀，使其成為一種可靠且成本效益高的半導體生產工具。