二手 SEMITOOL SST 421 #9379925 待售

SEMITOOL SST 421是為了在半導體晶圓上製造集成電路而設計的光阻劑批處理設備。它針對高級內存、邏輯和其他復雜IC技術中使用的過程進行了優化。SEMITOOL SST-421旨在提高設備產量、縮短周期時間和實現自動化配置。它使用專有的Ultra Process Technology-UpTech™、高級算法、集成過程模塊和快速更改吞吐量功能的組合。這些使工具能夠在縮短周期時間的情況下實現更高的吞吐量。SST 421由集成的模塊化平臺組成。四大部件分別是集成化學輸送系統、熱傳遞室、基板定位單元和車載控制器。綜合化學輸送機由四個獨立控制的空調化學罐組成，連接到一個泵床。可供SST-421的化學罐體配置可為每個獨特的工藝定制。該資產包括提供不同化學物質所必需的多種泵和過濾器，如光致抗蝕劑、顯影劑和蝕刻劑。熱傳遞室的設計是為了提供整個晶圓表面過程溫度的均勻性。該室采用內置的加熱器和風扇模型，可根據工藝要求進行調整。基板定位設備是一個晶圓處理單元，有五個可單獨控制的運動軸。這樣可以在過程中對基板進行精確的對準和定位。該系統還包括一個機械臂，用於在化學罐之間拾取和轉移底物。板載控制器是為工具構建的自定義控制器，為用戶提供直觀的用戶界面。此控制器允許用戶編程和修改配方。控制器還可以監控實時流程參數。控制器可以通過網絡鏈接以啟用遠程控制。SEMITOOL SST 421是一個創新的光阻處理單元，設計用於高容量、高精度生產半導體器件。它結合了高級算法、集成過程模塊和快速更改吞吐量功能,以提高吞吐量和縮短周期時間。它的模塊化體系結構提供了可配置性,而其板載控制器則確保了直觀、可治愈的操作。