二手 SEMITOOL SST 421 #9392447 待售

SEMITOOL SST 421是一種光刻設備，用於半導體工業中的先進制圖工藝。它是一個全自動系統，在許多最具挑戰性的抵抗過程中為用戶提供一致和可重復的結果。該單元分為旋轉塗層和熱板兩個階段。自旋塗層利用強制氣流機在較大的晶圓表面上增強光刻膠自旋塗層的均勻性。這確保了基板上可重復、高質量的光刻圖樣。自旋塗層也有溫度控制塗層多抗蝕劑類型。熱板階段包括一個較大的加熱區，用於高通量的基板均勻加熱。這種均勻加熱提高了臨界尺寸和邊緣放置精度。該工具的設計也非常方便。機動化基板級允許工具內運輸和基板處理的順暢。它還有一個機器人化工具，便於加載和卸載晶圓。此外，該資產的觸摸屏控制器為簡單的設置和操作提供了用戶友好的編程和控制。SEMITOOL SST-421有一個板載晶圓級計量室，可以監測層厚度和其他參數。這樣可以確保高質量的陣列設計結果,以及簡化過程控制和優化。該模型還提供遠程監視和控制功能,使用戶可以靈活地從任何位置操作和訪問該工具。總體而言,SST 421是一種高性能的光刻設備,可為用戶提供快速可靠的結果,使其成為半導體制造中高級制圖工藝的絕佳選擇。