二手 SEMITOOL SST-614-AG #9043971 待售

SEMITOOL SST-614-AG是為晶圓處理應用而設計的光刻設備。它是一個專門設計用於在矽片上應用和開發光敏溶液的「獨立」單元。該儀器的核心部件是晶圓轉運站、自旋噴霧軌道、清浴軌道、自旋噴霧器和Allmighty軌道。晶圓轉運站允許操作員手動從系統加載或卸載單個晶圓。該轉運站允許對晶片的方向進行垂直和水平調整。Spin Spray Track的設計允許將光刻膠溶液精確的旋轉分配到晶圓上。這樣就形成了光刻膠的均勻塗層，在晶片上產生了均勻的輪廓。Clear Bath Track由一個裝有水性或非水性顯影劑溶液的容器組成，用作洗滌站。浴道內的噴霧器噴塗器可確保顯影劑溶液在晶片上均勻分布,從而實現更高效的照片顯影。Spin Spray track也可以與Clear Bath Track配合使用，在晶圓上創建一個均勻的光刻膠輪廓。最後，Allmighty軌道負責從機組內的自旋噴霧中積聚抗蝕劑殘留物，並將其處置以清洗機組外的水箱。它是一種濾波器，容量也高達十二個Standard 200 mm晶圓。總之，SST-614-AG是在矽片上開發光刻膠溶液的完整光刻膠加工工具。它配備了晶圓轉運站、自旋噴霧軌道、清浴軌道、自旋噴霧器和Allmighty軌道等多項功能，以確保統一高效的處理。這種光致抗蝕劑資產可以提高生產速率，確保光致抗蝕劑加工應用的最佳效果。