二手 SEMITOOL SST-742-280 #293657532 待售
網址複製成功!
ID: 293657532
Spray solvent system
Controller
Valves
Sensors
Tubes
Pipes
Process chamber
Tanks
(4) Heated tanks (EKC, NMP or similar)
(3) Unheated tanks (IPA or similar)
(8) Trebor pumps
Rotor, 8"
Bolt quick disconnect
Carrier, P/N: A192-81M-0215.
SEMITOOL SST-742-280是為高精度光刻而設計的光刻加工設備。該系統能夠處理高達8英寸的晶片,處理能力從5 um到4 um。它設計用於晶圓表面的超精確成像,這對於創建高密度集成電路至關重要。SST-742-280單元是基於一個倒置光學顯微鏡機器的光照和精確定位晶片。晶圓通過高精度的掩模暴露在紫外線下。蒙版具有多種精細網格,可用於調整圖像的大小和形狀。然後使用高強度的紫外線燈將晶片曝光。可以調整光的強度,以提供所需的光致抗蝕劑圖像分辨率。SEMITOOL SST-742-280工具包括液晶顯示器(LCD)顯示器,允許用戶實時查看照片蒙版細節。液晶屏顯示器還能夠顯示光刻膠圖樣的反饋圖像以進行質量控制。該資產還包括一個自動對齊單元,確保掩模與晶圓精確排列,以實現精確對齊。SST-742-280配有輸送機模型,用於在加工站之間傳輸晶片。這種設備包括剝離能力,以便對單個晶片進行更有效的處理。它還配備了凹臺設計,以提供晶圓和掩模之間更好的接觸。SEMITOOL SST-742-280系統是一種高度可靠、靈活的精密光刻工具.它支持曝光後、蝕刻和烘烤後的過程來完成作業。此單元由可編程邏輯控制器和自我優化監視器構建,以確保整個作業過程設置保持不變。此外,這臺機器還包括一個溫度控制環境,有助於確保光刻膠圖像的可重復性。
還沒有評論