二手 SEMITOOL SST-742 #293653191 待售
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SEMITOOL SST-742 Photoresist Equipment是一個最先進的模塊化自動化處理系統,旨在確保需要關鍵位置重叠的應用程序(如MEMS制造和晶圓級封裝)具有最高的準確性和可重復性。該單元采用獨特的模塊化體系結構進行設計,用戶可以通過靈活處理壓力和時間來配置機器以最大限度地提高吞吐量並滿足任何特定流程的需求。此外,其獨特的腔室設計和再循環流系統的集成提供了更高的溫度均勻性,以確保最高水平的過程可重復性和可重復性。SEMITOOL SST 742 Machine的主要部件包括基板裝載和運輸工具、工藝室組件、流體輸送資產和控制模型。基板裝載和運輸設備使基板可以簡單地裝入裝載站,然後自動轉移到加工室組件內的適當位置。工藝室組件由用戶指定的模塊組成,這些模塊執行各種任務。這些模塊配有散熱器條,在處理之前將光刻膠均勻地分布在晶片上。流體輸送系統旨在提供對分配數量的精確和完整的控制,從而實現準確和可重復的過程。控制單元提供機器和用戶之間的界面,允許用戶實時設置進程參數和監控結果。SST-742工具的模塊化設計和廣泛的工藝能力使其適合各種應用,包括MEMS制造、高級封裝、光電和DISARRAY晶圓工藝。其較高的溫度能力使其能夠處理廣泛的光敏樹脂,包括DSP等級和低電阻率的抗蝕劑。此外,其先進的控制資產可以實現所有參數的自動化和控制,確保準確和可重復的過程。憑借其高度可靠的性能,SST 742已被證明能夠提高晶圓吞吐量,並降低成本高昂的返工成本。
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