二手 SEMITOOL SST-742 #9229862 待售

SEMITOOL SST-742光刻設備是一種專用的大面積光刻塗層，其設計經過優化，可提供高通量、可靠的均勻塗層。光刻膠系統具有專利的雙級噴霧技術，可實現卓越的塗層均勻性和沈積控制。集成的溫度控制單元進一步確保了整個基板表面以及從基板到基板的一致塗層。這種增強的控制導致了一種可重復和可靠的均勻的光敏塗層。SEMITOOL SST 742的機器由一個主室和四個衛星室組成。主室是一個深、矩形、不銹鋼的盒子，由一個高架噴霧室、一個氣室和一個加熱的室壁組成。獨立於主腔室的四個衛星腔室也構成了塗層工具。每個衛星室都與主室氣室相連。整個資產由先進的集成控制器進一步控制,允許同時控制溫度和工藝參數。SST-742的噴塗工藝包括一種噴塗方法，該方法針對均勻沈積在大基板上進行了優化。一種定制設計的噴槍在噴霧室內操作，用光刻膠溶液自動掃掠基板，同時提供快速響應和精確控制所得均勻性。然後將基材放入加熱室中。該腔室有一個變溫加熱壁，其工作溫度在90°C（194 °F）至160°C（320 °F）之間，從而可以優化任何光敏產品的塗層性能。SST 742的控制軟件允許設置大範圍的工藝參數，如停留時間、溫度、氮氣流量和氣壓。還包括一個配方編輯器，它可以方便地設置不同的光刻膠。SEMITOOL SST-742光刻膠模型用途廣泛，可以滿足金屬升降或太陽能電池封裝等多種應用要求。