二手 SEMITOOL SST-742 #9356936 待售

SEMITOOL SST-742是一種高效、準確處理半導體基板的光刻設備。該批式平臺由溢流沖洗、熱DI沖洗、中心載荷、自旋烘幹機、履帶傳遞、預烤、對準、自動電子束光刻、後烘烤、開發和履帶卸載組成。它旨在提供卓越的流程重復性、廣泛的流程功能和用戶友好的操作。溢流沖洗可以處理35至200 µm大小的基板，以及板載芯片、探針卡和高度可達20mm的基板。熱沖洗沖洗設施只需在95°C的溫度下提供一次清潔沖洗水。單頭可用於供應最多4個沖洗罐，從而允許靈活選擇所需的微粒去除水平。中心載荷設計成將基板保持在適當的位置，而自旋幹燥機則清除了DI沖洗後殘留在晶片上的任何殘留水。軌道傳輸負責將晶片從中心載荷傳輸到對齊階段。在這裏，晶片的位置精度保持在25 µm的精度。之後，用預烤塗抹光刻膠，用自動電子束光刻法曝光光刻膠。烘烤後即可完成光致抗蝕劑的應用，而磁道會在晶片在系統中移動時卸載晶片。總體而言，SEMITOOL SST 742是一個全面的光阻裝置，提供廣泛的工藝能力和可靠的工藝再現性。其符合人體工程學的設計提供了最佳的操作員安全性，而機器的自動化提高了過程吞吐量，並消除了錯位的可能性。該工具非常適合工業生產高性能基板和半導體器件。