二手 SEMITOOL SST-C-221-280-P #9400640 待售
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ID: 9400640
晶圓大小: 8"
優質的: 2001
Spray solvent system, 8"
(3) Chambers (2-Heated)
2001 vintage.
SEMITOOL SST-C-221-280-P是專門為集成電路的蝕刻、塗層和開發而設計的精密光刻設備。該系統具有多個組件,可精確控制光刻膠的應用過程。該裝置包括一個最先進的SST-C-221-280-P光敏噴霧器、一個用於精確曝光控制的石英燈和一個帶有循環噴霧室的自旋處理器。SEMITOOL SST-C-221-280-P光刻膠噴霧器設計用於在預定的流量和壓力下輸送精確的光刻膠。這是通過使用特定噴霧參數編程的自動控制器完成的。這樣可以提供質量最高的更均勻的零件。設計用於SST-C-221-280-P機器的石英燈可精確控制曝光時間和強度。這樣可以確保光致抗蝕劑既不會過度曝光,也不會過度曝光。強度和曝光時間可以很容易地調整,以便針對不同的光刻膠配方優化工藝。SEMITOOL SST-C-221-280-P工具中包含的自旋處理器包括提供精確處理速度和溫度控制的高級自動控制。在自旋處理器內戰略性地安裝噴嘴,在基板上噴灑細薄霧,然後在最佳溫度下進行處理。處理器的設計最大程度地減少了光刻膠的損失,並為精確和可重復的處理條件提供了動態環境。SST-C-221-280-P光刻資產是蝕刻、塗層和開發集成電路的理想選擇。它結合了精確控制的自動化過程以及對暴露和處理的精確控制,提供了可靠和可重復的結果。此外,模型使用不同光刻膠配方的能力確保了它可以在廣泛的應用中使用。
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