二手 SEMITOOL SST-C-221-280-PB #9408953 待售
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ID: 9408953
Spray solvent system
Stainless steel cabinet
Process:
Metal lift off
Resist strip
Polymer removal or wafer cleaning
(2) Heated tanks (NMP)
(2) Ambient heated tanks (IPA)
Front touch screen
SEMITOOL 302 Controller
280 Bowl (Accommodates 8" substrate-low profile)
Encapsulated ferro fluidic drive seal
KALREZ Bowl seal
N2 Purged dedicated chemical
DI Water spray manifolds
Dedicated TFE N2 dry manifold
Graphic color controller
Process variable control of RPM
Heated chemical temperature
Vertical Auto Door (VAD)
Power: 208V, 5 wires, 3 Phase.
SEMITOOL SST-C-221-280-PB是一種光刻設備，在先進的光刻工藝過程中提供卓越的性能和卓越的工藝可靠性。該系統是一個全自動、功能齊全的光刻膠處理解決方案,能夠運行具有多種基板配置的單步和多步過程。該裝置采用全自動基板裝載機，能夠為不同工藝儲存多達五套配方。該工具具有最優質的材料、組件和工程實踐,可確保卓越的性能、可重復性和過程可靠性。該資產采用專利氣體輸送技術，將光刻膠統一分配到基板表面，消除了人工擴散的需要。一個獨特的雙泵模型用於確保光刻膠在基板上的均勻分布，同時還提供一個一致和可重復的過程。該設備能夠處理直徑不超過6英寸、最大厚度為200微米的晶片。該系統利用一個完全集成的石英晶體監測單元來測量晶片級的光刻膠厚度，並監測光刻膠層的均勻性。該機器還配備了一個實時的進程中檢查工具，允許用戶在進程運行過程中監視光刻膠層。SST-C-221-280-PB還配備了高密度、低溫烘烤能力，確保了可重復的工藝條件，並確保了一致的抵抗模式和烘烤。該資產還配備了兩個加熱階段和兩個冷卻階段，允許精確的過程控制。總體而言,SEMITOOL SST-C-221-280-PB是一種先進的光阻模型,旨在提供卓越的性能、過程可靠性和可重復性。該設備是為先進的光刻工藝而設計的，並且允許一系列的工藝參數可以針對特定的應用進行定制。該系統利用最高質量的材料、組件和工程實踐來確保卓越的性能、可重復性和過程可靠性。該設備能夠處理直徑不超過6英寸、厚度不超過200微米的晶片。該機還具有集成的石英晶體監視器和過程中檢測系統，以確保卓越的性能和過程可靠性。
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