二手 SEMITOOL SST-C-321-280 #9238397 待售

SEMITOOL SST-C-321-280是一種設計用於中高批量生產應用的半自動光阻設備。適用於單面或雙面加工直徑達12英寸的基材。該系統由暴露頭、噴霧顯影階段、自旋沖洗階段、輸送機和自旋塗料等幾個不同的組成部分組成。曝光頭由步進電機、控制電子設備和兩級快門單元組成，以確保正負光致抗蝕劑的正確曝光時間。頭部配備了手動調節的焦點和強度表盤，能夠處理多達12英寸的基板。它由一個175厘米長的機械臂連接到機器上，便於取用和自動基板處理。噴霧顯影級是一種多端口噴嘴工具，使用異丙醇（IPA）從基板表面去除未曝光的光致抗蝕劑。它配有一個用於精確控制開發者使用量的PLC，並有一個內置的廢物再循環資產。它還裝有一個疏散口，以方便開發面板的安全和方便維護。自旋沖洗階段用於在自旋塗層工藝之前沖洗基材。它有一個專用的控制面板和PLC，以確保精確的沖洗時間和溫度與在基板上使用的抗蝕劑類型有關。舞臺裝有溶劑回收盤，使用IPA進行沖洗循環。輸送機便於基板在模型的各個階段之間移動，並配有專用的陶瓷加熱板，以確保在整個光刻循環中溫度一致。自旋塗層用於將光敏膠作為非常薄的薄膜塗在基板表面。它具有數字可編程計時器，並為各種抗蝕劑類型提供了許多預先編程的應用周期。該級能夠以200-2500 RPM的速度旋轉直徑達12英寸的基板。總之，SEMITOOL SSTC321280是中高批量生產應用中光敏加工的理想設備。它具有各種特殊的部件，包括曝光頭、噴霧顯影劑、旋轉沖洗和塗層階段以及輸送機。該系統不僅易於訪問和維護,而且還能夠容納直徑不超過12英寸的各種基材。