二手 SEMITOOL SST-C-321-280 #9238796 待售
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ID: 9238796
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
Spray solvent system, 8"
Part number: SST-C-221-280
Cabinet: Stainless steel, class 1
Gen-2 build
Front local interface (Standard)
Tool side touch screen
EMO (Front and rear)
Bottom fed facilities
Top fed exhaust
(2) Heated tanks for NMP based processing (Standard)
(2) IPA Tanks (Non heated)
(280) Bowls (Accommodates, 8" substrate-low profile)
Encapsulated ferrofluidic drive seal
KALREZ Bowl seal
N2 Purged dedicated chemical
DI Water spray manifolds
TFE N2 Dry manifold
Graphic color controller
Process variable control of RPM
Heated chemical temperature
Power supply: 208 VAC, 30 A, 5 wire. 50/50 Hz, 3 Phase
2000 vintage.
SEMITOOL SST-C-321-280設計用於各種光刻膠應用。它是一種自動化的批處理設備，可以快速高效地處理大負荷的抗蝕劑。該系統旨在在堅固的環境中為各種基板提供準確、可重復的塗層。該裝置的特點是由不銹鋼組成的底座，使其具有承受光刻過程惡劣環境所需的強度和耐腐蝕性。該基地還配備了一系列位置良好的機械元件,可提高各種苛刻生產環境中的可靠性。機器是完全自動化的，支持淋浴頭的可編程運動，允許多個處理步驟和配方。工具的核心是一個280升的腔室，由單級壓縮機冷卻，在腔室中產生真空。該腔室配有淋浴頭和晶片卡盤，用於基材支撐。這種組合確保了均勻和受控的抗蝕劑在基板表面上的分散，提供了一致的厚度。前面板上的數字控件便於設置和操作。腔室上的晶圓傳輸資產最多支撐八個直徑不同的晶圓。它專為生產吞吐量而設計,具有5秒範圍內的晶片到晶片時間。這種更快的晶圓傳輸允許更高的吞吐量以及在生產運行期間更快的啟動。晶圓傳輸模型還設計了一個自清潔機制，以防止汙染堆積。為了在生產過程中獲得最高的精度,設備的視覺系統配備了集成的視覺和光源系統,以確保基板背面清晰可見。集成系統可隨時提供最佳效果。該系統還具有最先進的信號輸入/輸出控制單元,可遠程監視機器的狀態。SEMITOOL SSTC321280工具是光刻加工操作的高效可靠工具.它旨在為大規模生產運行提供可靠可靠的運行，並取得高質量的效果。
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