二手 SEMITOOL SST-C-421-280 #293747945 待售

SEMITOOL SST-C-421-280是為滿足半導體行業最苛刻的要求而設計的光阻設備。該系統利用冷板模塊、保形冷卻和熱傳感技術，提供了一個超精確可靠的表面電阻率層。冷板模塊的工作原理是在加工過程中將冷卻冷卻劑直接循環到基板上，保持面積均勻，並確保具有一致的光致抗蝕層。單位在最高壓力下允許高達10.5 SFM/min的靜止壓力和28.1 CPI（每英寸接觸點）。保形冷卻增加了光阻表面層的均勻性，提高了工藝的速度和精度。該技術考慮到基板的形狀，以更好的均勻性和更快的周轉時間。機器配備了熱感應裝置，使用戶能夠完全控制基板的表面溫度。它具有±的0.1°C精度，分辨率為0.01 °C，可以為任何應用提供更高的精度和可預測的結果。該工具的其他功能包括具有直觀圖標的用戶友好軟件、可調油箱容量可達244 L以及內置的E-Beam板沖洗前和沖洗後階段。軟件還向用戶發出進程異常的警報，使他們能夠隨時修改坦克設置，同時提供所有進程參數的實時報告。總體而言,SEMITOOL SSTC421280光刻膠資產提供高性能、合規性和出色的一致性,使其成為具有挑戰性的半導體和器件制造應用的理想解決方案。