二手 SEMITOOL SST-C-621-270-P #9409098 待售
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單擊可縮放
ID: 9409098
優質的: 1996
Spray solvent tool
Cabinet: Stainless steel, Thru the wall, Class 1
(4) Heated tanks
(2) IPA Tanks
270 Bowl (Accommodates 6" substrate-low profile)
Encapsulated ferro fluidic drive seal
KALREZ Bowl seal
N2 Purged dedicated chemical
DI Water spray manifolds
Dedicated TFE N2 Dry manifold
Graphic color controller
Process variable control of RPM
Heated chemical temperature
1996 vintage.
SEMITOOL SST-C-621-270-P Photoresist Equipment是一種頂級的光刻膠處理解決方案,提供無與倫比的質量、性能和可靠性。SEMITOOL獨特的功能專為各種應用而設計,使其成為各地光刻專家的首選。SST-C-621-270-P具有大型液體處理系統,該系統經過優化,可最大限度地減少浪費並降低後端成本,同時仍可提供高水平的生產率和吞吐量。該裝置還具有無汙染儲存機、高效過濾以及粗細分配閥，以提高準確性和可重復性。將光刻膠液壓輸送到應用點，實現技術先進、性能可控。該工具采用高精度、低容量真空資產，有助於將顆粒計數保持在最低限度，並防止來自外部來源的汙染。該模型還為溫度敏感過程提供了溫度穩定的腔室，提高了環境穩定性。閉環熱控制設備可確保關鍵光敏處理步驟的溫度正確。SEMITOOL SST-C-621-270-P還具有集成的過程控制系統,該系統允許用戶在過程配方之間進行切換,監視當前結果,並只需單擊幾次即可調整參數。該單元允許用戶在不同的處理周期之間移動，而不必重新啟動系統，同時也有助於提高效率和減少不同光刻膠處理步驟之間的可變性。SST-C-621-270-P是光敏用戶的一站式解決方案。其特點與可靠性能相結合，是光刻膠市場精度要求的理想選擇。SEMITOOL SST-C-621-270-P憑借其性價比、高品質的性能、提高的環境穩定性，成為各行業光刻加工專業人士的首選產品。
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