二手 SEMITOOL SST-C-621-270 #9177160 待售

SEMITOOL SST-C-621-270是為半導體應用開發的光刻設備。它被設計用於涉及用光致抗蝕劑處理晶片的各種工藝流程。該系統提供高流程重復性、高吞吐量和可靠性以及低維護要求。該單元由一個621通道的電控分配歧管組成，提供精確準確的流量控制。這允許對輸送到晶圓表面的化學品進行嚴格的工藝控制。加工室可同時裝載晶片和單件石英船，以便將化學品大量運入機器。該工具還配備了雙溫度控制模塊，以實現對光刻膠溶液的精確溫度控制，並最大限度地減少工藝的可變性。該資產還具有270個位置的旋轉卡盤，為執行精密工藝提供了一個穩定的平臺，包括旋轉塗層、預軟烘烤和後顯影。使用位於真空卡盤上方的UV燈快速幹燥光刻膠層。為了安全起見，該模型包括緊急關閉和車載排氣設備，以控制任何危險空氣傳播顆粒的釋放。最後但並非最不重要的一點是,SST-C-621-270具有圖形用戶界面（GUI）,以使用戶能夠查看和控制系統。GUI使設備易於操作,並允許用戶快速設置和監視機器以優化其流程。總之，SEMITOOL SST-C-621-270是一種高效、可靠、用戶友好的光刻膠工具，能夠用光刻膠對晶片進行精確、精確的處理。