二手 SEMITOOL SST-C-621-280 #9360715 待售

SEMITOOL SST-C-621-280 Photoresist Equipment是一種最先進的多區、單室液體和幹式半導體直列式加工工具,用於塗覆、開發和剝離光致抗蝕劑。該系統非常適合200毫米和300毫米濕法和幹法生產線。它能夠批量或小批量生產,旨在最大程度地減少停機時間,同時降低總體生產成本。SST-C-621-280裝有全自動的幹膜光刻裝置，無需特殊設備即可處理。機櫃封閉式機箱保持受控環境，確保最佳膜質量和均勻性。可以針對各種溫度、速度、壓力和化學參數配置獨立的控制區。將幹膜光刻膠裝載到腔室的一組旋轉工藝輪上，6個區域中的每一個都可根據特定工藝參數獨立調節。SEMITOOL SST-C-621-280有一個專門的洗滌器/顯影輪，用於在工藝周期結束時，去除多余的光刻膠溶液和顆粒。洗滌輪可調整為三種壓力設置,可根據最終用戶的特殊需要進行配置。光致抗蝕劑工具還包括一個專有的視覺檢查資產，在每個處理周期後檢查薄膜質量。這一檢查過程有助於最大限度地減少批量和晶片對晶片的不一致，並且可以檢測和識別粒子、光刻和加工缺陷。該模型的低溫冷卻功能可快速有效地冷卻晶片,幫助減輕長時間加工造成的表面損壞。SST-C-621-280還配備了一些可選的高級功能,如工藝審查軟件、等離子體預處理和自動循環集成。SEMITOOL SST-C-621-280旨在通過提供可靠的性能和高分辨率成像及薄膜厚度精度來幫助簡化半導體生產。它是用於濕法或幹法生產線的易於使用和高度精密的工具,能夠大量生產,並在設備中內置質量控制參數。