二手 SEMITOOL SST-C-632-280-KM #9276685 待售

SEMITOOL SST-C-632-280-KM Photoresist設備是一個完整的濕式臺式清潔和光刻處理解決方案，用於設備制造要求。它旨在自動化晶片的制備、基板清潔、光刻塗層和開發過程，同時保持完整的過程控制。該系統具有自動基板傳輸和模塊化、用戶可配置的一系列過程步驟。SST-C-632-280-KM清洗單元由多個沖洗罐、一個表面活性劑清洗模塊、DI沖洗水和一個用於水性或溶劑基清潔的工藝臺組成。自動沖洗罐具有蠕動泵機，可以快速填充和排出水箱，同時向操作員提供性能反饋。表面活性劑清潔模塊的設計是用酸、堿性和胺類表面活性劑的組合來清潔底物表面。該DI沖洗水提供超純沖洗水最終清潔。該工具還包括一個用於將光敏材料施加到基板表面的抗蝕劑塗層。塗料是為可重復、均勻、厚度範圍廣的塗料而設計的。它可以配置用於旋轉塗層、噴塗塗層或級聯旋轉塗層工藝。塗料具有先進的溫度和流量傳感器，以保持過程控制。開發資產包括用於預烤和後烤的集成熱板、用於去除晶片殘留光刻劑的沖洗和幹燥站以及用於關鍵開發步驟的高精度溫濕度控制軌道。可以設置靈活、用戶可配置的開發過程序列,以優化過程控制。SEMITOOL SST-C-632-280-KM光電抗蝕劑模型是為使用領先的抗蝕劑材料的工作流而設計的，與現有和新的光掩模設備完全兼容。它提供了一個易於使用的界面與預編程的流程序列,以及創建自定義流程序列的能力。該設備為實現可重復、高質量的設備制造成果提供了可靠的平臺。