二手 SEMITOOL SST-C-632-280 #293808351 待售

SEMITOOL SST-C-632-280是一種設計用於半導體晶圓加工的光刻設備。它支持每年高達40,000個4英寸晶圓的生產吞吐量,並為關鍵半導體器件制造提供了有效的低成本平臺。SST-C-632-280是一個完全自動化的系統，以低維護成本和消耗品成本運行，並通過廣泛的光刻膠和光刻工藝提供最高水平的可重復性和精確度。該單元具有3軸精密平移級和具有多軸掃描功能的6軸機械臂。SEMITOOL SST-C-632-280采用獨特的無掃描儀配方開發機設計，使工具能夠同時處理多個晶圓或平板。這種獨特的特性允許光刻膠的均勻曝光，而無需任何特殊的離線對準。該資產還可以同步晶圓工藝，用於不同的光刻工藝和多重曝光。為確保可重復和可靠的結果,每個模型組件,包括晶片加載設備、處理器子系統、傳輸和對齊張緊器以及自旋卡盤加熱器,都采用閉環操作設計。此外，該系統還具有閉環溫度控制和集成真空塵埃過濾器的特點，可進一步保護晶圓表面。除了光掩模和光刻膠的開發外，SST-C-632-280還可以用於晶片的清洗、剝離和烘烤操作。該系統具有自動化學調節和劑量精度.可選的FM-Tune自動對焦單元進一步提高了分辨率和準確性。SEMITOOL SST-C-632-280光刻機是一種適用於各種半導體晶圓加工應用的可靠且經濟高效的解決方案。它能夠處理大批量和小批量處理,並支持高分辨率的光掩碼操作。該工具是快速可靠生產集成電路等高端半導體器件的絕佳選擇。