二手 SEMITOOL SST-C-6422-5060-U #9279865 待售

SEMITOOL SST-C-6422-5060-U是一種具有自動傳送模塊的光刻設備，旨在減少體力勞動並簡化光刻過程。它為半導體晶圓的應用提供了自動化的光刻處理。該系統由幾個模塊組成，包括一個防光罐、一個濕板凳、一個預烤、一個旋轉外套、一個曝光模塊和一個後烘烤模塊。光抗蝕劑罐是將光抗蝕劑液體添加到設備中的地方。濕式工作臺負責為烘烤前和烘烤後模塊提供動力和熱量，以及填充光刻膠罐。Pre-Bake模塊用於在Spin-Coat之前將晶圓表面加熱到所需溫度。Spin-Coat模塊負責在晶圓表面上塗抹一層甚至更薄的光刻膠。「曝光」模塊用於將晶片表面暴露於特定的紫外線能量,並為晶片表面提供所需的圖樣。並且在光致抗蝕劑曝光後，Post Bake模塊負責加熱晶片表面以固定晶片表面的圖樣。本機設計為提供一個簡單、安全和自動化的光刻應用過程。它配備了安全互鎖工具，防止操作員意外暴露在紫外線輻射下。它還帶有一個用戶友好的GUI（圖形用戶界面），這使得資產的操作非常簡單。該型號還設計用於高效維護，並配有清潔材料套件和工具。總之，SST-C-6422-5060-U是一種高效、可靠的光刻設備，旨在減少體力勞動，簡化半導體晶片的光刻工藝。它配備了安全聯鎖系統和人性化的GUI，設計方便維護。