二手 SEMITOOL SST-C-6422-5060-U #9279869 待售

SEMITOOL SST-C-6422-5060-U是一種先進的光刻設備，設計用於大批量生產集成電路晶片和基板。該系統結合了先進的高吞吐量平臺和可靠的長期流程以及嚴格的流程控制，從而實現了一致和可重復的生產。SST-C-6422-5060-U光刻裝置包括一個全自動、集成的配置與先進的過程控制實時監控和調整設置。該機器有一個集成的400毫米加工船，50腔容量，允許最多400毫米的基材或晶片進行處理。這使得它非常適合高精度和可重復性的大批量生產基板或晶片。該工具采用獲得專利的雙區域平臺設計,允許同時執行兩個獨立的流程,從而提供最大的流程效率和吞吐量。這種雙區設計包括最高溫度可達915 °C的高溫區和最高溫度可達190°C的低溫區。兩種不同的溫度區結合先進的伺服驅動器和溫度控制器，確保基板或晶片的精確和可重復的面向位置的烘烤。光致抗蝕劑資產還包括一個真空模型，有兩個階段，同時控制烘烤喘息和溶劑蒸氣；燒蝕或軟燒蝕工藝的選擇；以及提供精確、可重復過程的專有掩模連接室設備。SEMITOOL SST-C-6422-5060-U還包括一個具有選擇性掃描速度的高分辨率成像子系統以及用於精確、快速對準和檢測功能的光學濾鏡。SST-C-6422-5060-U帶有先進的過程控制軟件,允許實時調整諸如腔室溫度、壓力和旋轉速率等參數。集成軟件為現場人員提供最新的性能指標,以監測流程的有效性和穩定性。這樣可以減少停機時間、減少報廢和提高流程可重復性。總體而言,SEMITOOL SST-C-6422-5060-U光阻系統是一個超高吞吐量的生產平臺,旨在提供一致的結果以及改進的過程重復性和控制。該機組獲得專利的雙區平臺，支持高達400mm的晶圓，結合集成真空機、先進伺服驅動和工藝控制軟件，為更高產量的道岔提供了更高的吞吐量。