二手 SEMITOOL SST-C-6422-5060-U #9279870 待售

SEMITOOL SST-C-6422-5060-U光刻設備是為半導體芯片制造設計的集成工藝系統.該單元設計為用感光材料精確塗覆、軟烘烤、顯影、硬烘烤矽片。適用於各種光刻工藝，包括光刻、光刻、升空、焊料掩蔽、選擇性蝕刻。光刻機模型SST-C-6422-5060-U由四個獨立的晶片室組成：軟烘烤、Coater、Developer和Hard-bake。每個會議廳都設在一個可容納和維持受控環境的會議廳底座內。集成的淋浴頭可確保晶片與光刻膠的塗層精確均勻。該工具還配備了加熱器、冷卻器、真空水平和排氣能力。軟烘烤室保持精確控制的溫度和環境，以便在使用光刻膠之前對晶片表面進行準備。Coater Pump是一種精確的過濾設備，可確保光刻膠的塗層均勻一致。顯影器室是溫度控制的，允許光致抗蝕劑固化和聚合。硬烘烤室使用加熱器來硬化軟烘烤室和顯影室期間施加的光刻材料。該模型還包括各種數字控制，包括易於導航的用於設備控制和編程的觸摸屏。這使得可編程配方存儲和檢索與每個腔室的工藝參數精確到0.1%。系統還提供與SEMITOOL Design軟件的完全連接,用於過程參數上載。SEMITOOL SST-C-6422-5060-U光刻裝置具有精確化學輸送的運動控制輸送機、提供均勻塗層的高精度浮動噴嘴和高精度化學輸送工具。該資產還提供工藝穩定性和底物均勻性與每次重復。綜上所述，SST-C-6422-5060-U光刻膠模型是為半導體芯片制造而設計的精確、通用、用戶友好的集成工藝設備。它能夠用具有精確工藝參數的感光材料塗覆、軟烘烤、顯影和硬烘烤矽片，確保每次重復的準確性和一致性。