二手 SEMITOOL SST-F-421-280-F #9276688 待售

SEMITOOL SST-F-421-280-F是一種光刻設備，設計用於精確控制矽晶片上集成電路的模式。該系統具有四軸門架和三軸臺架,可提供精確陣列電路所需的精確對準。該龍門裝有旋轉塗層和晶片分配機器人，而該級能夠精確控制晶片相對於旋轉塗層的位置和分配機器人。光致抗蝕劑是一種對光敏感的化合物，應用於印刷的矽片，當暴露在光下時，會產生一個圖案化的電絕緣層，將電路彼此隔離。光致抗蝕劑單元采用高功率激光器、光學系統和先進控制算法的組合，對光致抗蝕劑的曝光進行精確控制。SEMITOOL SSTF 421280F機器還裝有一個自旋處理器，它允許晶片高速旋轉，從而在打印表面上形成薄薄的、均勻的光阻層。此外，該工具與濕式和幹式光刻膠工藝兼容，允許它與各種光刻膠類型一起使用，如正音、負音和自然角。為輔助光刻膠工藝，該資產還包括若幹工藝監控功能，如自動溫度控制模型、用於均勻曝光的精密縫合器和表面汙染監控器。此外，還包括一些質量保證和缺陷檢測功能，如現場缺陷檢查和綜合工藝控制設備。制圖過程完成後,系統可與光刻和蝕刻過程結合使用,以創建所需的電路模式。SST-F421-280-F單元提供的各種特性使其成為在矽片上精確陣列化精密集成電路的最有效解決方案之一。