二手 SEMITOOL SST #293654402 待售
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SEMITOOL SST是一種用於半導體制造的光刻設備。這是一個將一種稱為抗蝕劑的化學塗層與垂直旋轉過程結合在一起的過程,以實現光刻效果,從而創建所需的設備級特征。垂直旋轉是這一系統的關鍵,因為它在基板上形成更均勻的塗層,防止殘留物堆積,提高孔線放置精度。SST用於現代光刻工藝,如薄膜晶體管(TFT)、互補金屬氧化矽(CMOS)和半導體記憶電池。它具有可變的旋轉速度、可調節的抗蝕性厚度和精確的抗蝕性噴霧圖案,使各種形狀和尺寸的設備能夠以最小的非均勻性創建。它的可重復性和準確性確保設備規格得到滿足,而它的多功能性允許不同的過程只用一個單元來執行。SEMITOOL SST還設計用於與低粘度抗蝕劑兼容,允許更高的旋轉速度和更高的分辨率,從而產生更準確可靠的設備級特性。該機配有可靠的耐溶劑手持式噴霧器和高壓泵,可精確控制抗蝕劑厚度和流量。SST旨在最大程度地減少過度噴霧和汙染,同時提供一種低維護工具,其可靠性超過了長期使用。其強大的多功能性、準確性和可靠性使得SEMITOOL SST在生產緊湊型晶體管、翻轉芯片組件、3D集成電路和其他復雜的設備級制造項目方面具有無價的價值。
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