二手 SEMITOOL SST #9009453 待售
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單擊可縮放
ID: 9009453
晶圓大小: 6"
優質的: 1995
Spray solvent tool, 6"
System has non-heated isopropyl / Acetone tanks
Primarily acetone clean
Metal lift off
Develop type processes
Cart base: 30" x 22"
Tank: 18" x 20" x 13"
Level sensor
TREBOR 110 Diaphragm pump
Dual hand brakes
Liquid level sight display
Pump missing
Power: 208V, 40A, 3 Phase, 60Hz
1995 vintage.
SEMITOOL SST光阻設備是為微電子元件的精密模版設計的最先進的解決方案。SST Photoresist System擁有先進的功能,可以創建高度精確的圖樣,用於制造復雜的PCB和其他亞微米電路組件。SEMITOOL SST光致抗蝕劑單元的工作原理是通過光模版將選擇性暴露的光致抗蝕劑層施加到基板上。這一過程是通過將基板暴露在高強度光源下來完成的。根據光阻強度,可以使用電子束或紫外線光源。光源穿透光致抗蝕層,使分子硬化到底物上所需的圖樣。要創建模板,基板通過一個房間向上的輸送機與傳送帶驅動基板沿曝光站。一旦光致抗蝕劑暴露在外,基材就會發展出一種相容的化學物質,以去除光致抗蝕劑的暴露區域。未暴露的區域將保持完整,從而在基板上創建所需的模式。開發後,將花紋基材在爐中加熱,完成光刻機加工。爐子除去未曝光的部分,並留下所需的圖樣在基板上。SST Photoresist Tool包含許多關鍵功能,以確保一致的高質量結果。該資產具有可復制模版工藝的精確運動控制、用於精確曝光的高分辨率電動舞臺以及易於使用的觸摸屏界面。該型號還提供用於自動晶圓處理和封蓋的可選模塊。此外,SEMITOOL SST Photoresist Equipment軟件是為高速制圖技術而設計的,可實現快速設置和工藝優化。SST光阻系統是制造高復雜微電子元件的絕佳選擇。通過將最新技術與用戶友好的軟件相結合,這種精密的光刻裝置能夠為各種基板產生高度可靠的亞微米圖樣。
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