二手 SEMITOOL SST #9359467 待售

SEMITOOL SST是由SEMITOOL, Inc.開發的最先進的光刻設備。該系統是一種自動化的光刻塗層，提供高精度、精確、可重復的抗蝕塗層和剝離。利用真空沈積和先進的光學工藝控制等先進技術，取得最佳效果。該單元包括三個主要組件：腔室、壓縮機和計算機。這個房間是用不銹鋼建造的.它由兩個腔室組成，一個用於真空腔室，另一個用於薄膜沈積區域。一個集成的高精度濺射沈積儀控制膜沈積過程，允許對沈積速率和層均勻性進行精確控制。壓縮機將空氣泵入腔室的各個部分，形成真空。這種真空允許整個腔室內均勻的大氣環境，確保均勻的薄膜和抵抗沈積。使用計算機控制的工具監測真空水平並相應調整。資產還利用先進的光學工藝控制，確保了準確、一致、可重復的抗塗層和剝離效果。這是通過使用光譜反射計和分光光度計來測量抗蝕劑塗層和基板的光學特性來實現的。此外，該模型還能夠對抗蝕層進行在線無損檢測（NDT），以確定其均勻性、附著力和厚度。這是通過優化掃描設備以非常低的能級掃描抗蝕層來實現的。最後，系統還提供後處理分析，以確認塗層和剝離結果。此外，該裝置還配備了多種自動化工藝，以確保沈積的抗蝕層的準確性、效率和可重復性。總體而言，SST提供的先進工程使其成為光刻塗層和剝離的高效可靠的選擇。這臺機器具有廣泛的優點,例如精度、準確性、一致性、可重復性和易用性。