二手 SEMITOOL SSTC-632280 #293616250 待售
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SEMITOOL SSTC-632280 Photoresist設備是一種自動濕法,用於將光敏材料的薄層稱為光敏材料沈積到給定材料的基板上,然後將其暴露在所需的光強度下。光刻膠系統由幾個組分組成,包括溶劑輸送單元、噴霧噴嘴、反應室和光刻膠沈積室。溶劑輸送機用於向噴嘴輸送所需的溶劑量。這是為了確保光刻膠以正確的體積噴灑到基板上。噴嘴在過程中增加了一個關鍵步驟,因為它將光致抗蝕劑霧化成細顆粒,然後以均勻的方式施加到基板上。反應室又稱氣體或蒸氣室,用於控制光致抗蝕劑沈積的環境。這個腔室控制著大氣中存在的壓力、溫度和氧氣量,這些都對光刻膠層的均勻性和精度有影響。光致抗蝕劑沈積室是一個封閉式室,用於容納基板和噴塗光致抗蝕劑。腔室的特殊設計允許在沈積過程中保持恒定的溫度、壓力和氧氣氣氛。該過程的最後一個關鍵步驟是基板暴露於光源。這樣做是為了確保光致抗蝕劑層對所需的光強度具有所需的靈敏度。一旦這個過程完成,光刻膠層就被固化,如果需要的話,然後從基板上除去。SSTC-632280光敏工具是一種可靠的自動濕法,通常用於半導體工業。它是從光刻到薄膜太陽能電池等多種應用的理想解決方案。該資產具有準確一致的結果,是光刻沈積的主要解決方案之一。
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