二手 SEMITOOL SSTF 421270F #9265379 待售

SEMITOOL SSTF 421270F光刻設備是一種新一代噴霧光刻平臺,提供更高的吞吐量和改進的過程控制。該系統由SEMITOOL開發，采用噴塗抗蝕劑技術快速準確地將光敏材料沈積到基板上。該裝置的操作寬度高達60英寸（152厘米），具有動態配方控制的完全自動化功能。機器需要最少的操作員交互，以保持過程的一致性和提高產量，因為它使自動抵抗通量密度測量和均勻性測量。噴塗防噴劑過程發生在工具的噴塗室中。噴霧室包括一支噴槍，按照工藝配方的規定，將精確數量的光致抗蝕劑分配到基材上。這種抗蝕劑的精確應用將抗蝕劑層固結成緊湊的薄膜，均勻地覆蓋基板，防止汙染或堆積。一旦使用了抗蝕劑，資產的再循環環路允許重復使用未使用的光致抗蝕劑，以減少材料浪費。SSTF 421270F還具有一個集成的視覺對齊模型，該模型掃描基板圖樣是否未對齊或有缺陷，允許操作員進行實時布局校正。設備的高分辨率攝像機可確保對基板的全覆蓋,而無需手動對準口罩。先進的清潔系統進一步提高了自動化程度，改進了工藝控制，因為它允許使用各種不同的化學品在噴塗塗層前後清洗基板。通過車載粒子傳感器和原位臭氧發生器監測設備的清潔度。SEMITOOL SSTF 421270F還配備了智能過程控制機，自動識別過程變量並相應調整噴霧參數。這種自動化顯著減少了操作員的輸入，優化和標準化了抗蝕層。為了進一步優化敏感抗蝕層，SSTF 421270F包括一個保持恒定濕度水平的濕度控制環境。通過確保噴塗環境對基板進行適當的調節，工具可以防止抗蝕層收縮或軟化。總體而言,SEMITOOL SSTF 421270F是一個先進的自動化噴霧光刻平臺,可提供更高的吞吐量、增強的過程控制和精確的抗蝕層形成。通過其集成的視覺對準資產、自動清洗模型、智能過程控制和濕度控制，設備有助於最大限度地提高產量並減少廢品。因此，SSTF 421270F是一個下一代的解決方案，對於那些需要一個最優的光刻系統。