二手 SEMITOOL SSTF 421280M #293653192 待售

SEMITOOL SSTF 421280M是一種用於薄膜沈積和光刻工藝的光刻設備。它結合了一個自旋塗層和一個自旋塗層，允許精確和均勻的光刻膠沈積成底物。自旋塗層可用於將光致抗蝕劑材料塗抹到最大均勻度的基板上，而自旋塗層可旋轉基板高達40,000 rpm。該系統配有多種配件，包括循環冷卻器、4端口晶片處理程序、通用蓋、一次性電池、壓力源和介質儲罐。它還包括用於管理、監視和控制設備的軟件。軟件包由用戶界面、配方管理器和數據記錄器模塊組成。循環冷卻器提供精確的冷卻，以確保光敏材料在整個沈積過程中保持一致的溫度。4端口晶片處理程序可確保基板的精確和均勻定位。通用蓋子有助於防止不需要的環境光線照射。一次性電池在光刻過程中保持清潔和一致性。壓力源有助於減少光敏材料在自旋塗層過程中的變形，介質儲層設計用於分配光敏溶液。SSTF 421280M光刻機通過最大限度地減少厚度變化、層均勻性、表面光滑度和缺陷，提供均勻可靠的沈積質量。它還提供精確的處理、快速的處理時間和簡單的操作。它的先進設計使光刻工藝具有成本效益和可重復性。該工具可用於塗層幹膜集成、MEMS、太陽能電池、復合半導體、高科技電子元件等多種應用。