二手 SEMITOOL SSTF221280MBT #293628579 待售

製造商
SEMITOOL
模型
SSTF221280MBT
ID: 293628579
晶圓大小: 12"
Spray solvent system, 12" (2) Tanks (Heated).
SEMITOOL SSTF221280MBT是一種先進的光刻設備,設計用於各種光刻和晶圓處理應用。它采用創新設計,能夠精確控制光照和光學特性,包括針對暗場和明場應用進行優化。該系統具有強大的處理和命令功能,可為各種前端半導體應用程序提供經濟高效的解決方案。SSTF221280MBT的核心是它的SSTF-21200MP光致抗蝕劑單元,它不僅包括必要的光學器件,還包括一個集成的去粒機和真空工具。這種強大的光阻資產提供了一種能夠精確、快速地自動對焦的能力,具有寬廣的可調光圈和曝光參數的微調,以最大限度地提高吞吐量。自動對焦提供了一個清晰的視線與以前的鏡頭,消除任何失真從成像模型。此外,可以使用激光照明設備處理多個抗蝕層。SEMITOOL SSTF221280MBT還具有集成晶圓支持系統,可配置最多三個晶圓大小和厚度。晶圓傳輸單元不需要手動處理晶圓,最大限度地減少了破損或汙染的可能性。SSTF221280MBT設計用於處理各種光敏材料,包括krylon、terbine和amine類型。該機支持曝光後和曝光前烘烤模式,使用戶可以靈活配置流程,以最大限度地提高吞吐量,最大限度地減少缺陷。預曝光烘烤模式允許用單一基材快速處理多層光刻膠。SEMITOOL SSTF221280MBT集成了多種顆粒去除系統,以實現晶圓的最佳清潔度.此工具具有自動預清洗、後清洗和擦拭功能。清潔溶液通過資產上部的噴嘴通風口使用,流量可調節,確保有效清潔和幹燥暴露的晶片表面。SSTF221280MBT還包括一個直觀的控制面板,它允許操作員輕松設置功能、監視參數和快速更改實現。該面板包括曝光和工藝設置的集成顯示,允許進行高效和直觀的調整以優化晶圓的生產。總體而言,SEMITOOL SSTF221280MBT是一種高度先進的光刻膠模型,可為各種前端半導體應用提供可靠、高效且經濟高效的解決方案。憑借其集成的設備設計、強大的光學和處理能力、高效的清潔方案以及直觀的控制面板,該系統為用戶的光刻和晶圓處理項目提供了更高水平的控制和吞吐量。
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