二手 SEMITOOL ST 240 #293604284 待售
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SEMITOOL ST 240是SEMITOOL為半導體器件處理和封裝應用開發的光刻設備。該系統專為當今集成電路制造商的需求而設計,這些制造商需要更小的組件和更大的封裝。ST 240單元為晶圓表面沈積均勻清潔的光敏層提供了可靠、經濟高效的方法。這臺機器的關鍵特點是其先進的噴霧技術,能夠準確地在晶片上沈積一個一致且均勻的薄薄的光致抗蝕層。此外,它還可以在密集堆積的區域中精確地形成層,並去除額外的光刻膠,從而幹擾電路操作。它還具有雙噴嘴技術,以提高晶片表面的均勻性,減少斑點的形成,並消除物理擦洗去多余的光致抗蝕劑的需要。SEMITOOL ST 240利用多種基材,提供耐化學加壓陶瓷頭,提供高效的晶圓塗層。該工具還配備了自動晶片定位資產,以確保精確對齊和一致的光阻應用。此外,該模型還具有自動化的沐浴化學,調節抗蝕劑的粘度和沐浴溫度以獲得最佳性能。為了獲得最大的靈活性和定制,ST 240具有直觀的用戶界面、多種劑量模式、五種不同的控制模式以及各種工藝參數,可以用來調整化學和光刻膠浴場的參數。此外,它強大的工藝控制功能使用戶能夠微調光阻特性,如附著力、暫時增加阻力、形成凸起凸起和薄膜圖案。設備還包括一個板載控制器和一個安全裝置,以提供對用戶進度的實時監測和反饋,以及進行故障排除。最後,SEMITOOL ST 240配備了全面的診斷和可追蹤性工具,使用戶能夠快速識別和隔離問題,並快速識別和解決問題。
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