二手 SEMITOOL ST-2400 #293600511 待售

SEMITOOL ST-2400是為半導體器件制造而設計的光刻潛水設備。它利用基於真空的方法將光致抗蝕劑從儲存容器轉移到晶圓。ST-2400系統能夠控制光刻膠水平和溫度，以確保晶片加工過程的均勻性和準確性。該單元包括一個配電閥和控制器，負責在光敏浸沒過程中驅動晶片的運動，以及一個噴嘴、一個維持固定溫度的加熱塊和一個真空發生器，負責在光敏浸沒過程中清除氣隙。SEMITOOL ST-2400機具有多種光阻基板構型，可同時處理多種基板。它既可用於接觸式也可用於非接觸式光致抗蝕劑浸沒，從而實現多種工藝配方。此外,還可以對其進行定制,以適應一系列光刻膠粘度、溫度和浸沒高度,從而使其能夠在整個晶片上獲得均勻的光刻膠覆蓋。ST-2400工具配備了閉環過程控制，用於監測光刻膠水平、溫度、浸沒高度和其他過程參數。此外，該資產還具有識別和消除模型錯誤的內置故障恢復能力。此外，它還具有先進的吸塵能力，能夠去除光刻膠層中任何滯留的氣泡，從而提高整個工藝性能。該設備與一系列液體兼容，如光刻膠、溶液、混合物和乳液，允許與現有塗層工藝廣泛兼容。此外，由於其精確的底物控制和先進的分配技術，它能夠產生出色的薄膜性能。綜上所述，SEMITOOL ST-2400是一種可靠、堅固的光刻潛水系統，具有精密工藝控制、故障恢復、精密基板控制、與各種液體兼容等多種先進特點。這些特性結合其可靠性，使ST-2400成為半導體器件制造應用的理想單元。