二手 SEMITOOL ST 240D #103676 待售
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ID: 103676
Mobile Spin Rinse Dryer with Controller and TC-20 Resistivity Monitor
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SEMITOOL ST 240D是一種具有先進特性的光刻設備,可滿足現代幹膜光刻生產的需要。該系統設計為一個緊湊的集成單元,能夠執行各種光刻工藝,包括塗層、烘烤、開發和打磨。采用先進的塗層頭進行ST 240D塗層操作.這包括先進的基板保形塗層、控制基板溫度的能力和使用高分辨率噴霧系統等特點。通過在SEMITOOL ST 240D上使用原位伸縮噴嘴,用戶能夠精確地控制所應用光刻膠的厚度和均勻性。這樣就提高了薄膜工藝的產量,在這種工藝中,光致抗蝕劑被精確地定位到所需的厚度。先進的熱鍍技術促進了烘烤過程,並將多個區域配置為允許從低溫固化循環到高溫固化循環的光刻膠薄膜烘烤。這使用戶能夠在各種基材上實現光刻膠的出色粘附和固化。ST 240D為用戶提供了一系列開發選項,包括邊緣板類型和泡沫凸版技術。這些先進的開發組件提供了非常精確的可重復性,並提供了在不同膠片產品之間快速切換的靈活性。最後,還通過SEMITOOL ST 240D啟用了pattering過程。這可以利用一系列模具和口罩來制作有圖案的光刻膠薄膜。它還能夠使用基於激光的系統,這些系統能夠創建復雜的圖案設計。綜上所述,ST 240D是一種先進、集成的光刻機,能夠進行各種光刻操作,包括塗層、烘烤、顯影和拍打。這使得它非常適合生產高品質、高性能的光刻膜。
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