二手 SEMITOOL ST 240D #131147 待售

SEMITOOL ST 240D是為滿足半導體行業光刻需求而設計的綜合性光刻設備。它配備了許多高級功能,使其能夠提供精確的圖樣設計功能和對蝕刻時間的精確控制。系統的物理特性包括一個16.7 "x 16.7"/42.6 cm x 42.6 cm的腔室，深度10"/25.4 cm。它有一個定向站，可以與液體和幹燥的光刻膠同時使用，為不同的工藝要求提供最大的靈活性。它還具有直接加熱抗蝕劑溶液的機理，可實現快速斜下剖面和精確調節抗蝕劑溫度。該裝置的其他特點包括可控制的氣體噴射機，用於優化體積和溫度控制，以及設計用於提高重復性和吞吐量的濕度控制工具。該資產還利用了先進的成像技術,如全高清光學、先進的光映射以及用於精確對齊和叠加的自動舞臺控制。ST 240D還配備了一套強大的處理功能,包括光學、激光、激光掃描和數字成像等多種曝光方法,以及先進的抗蝕劑控制功能,可精確控制抗蝕劑的厚度和硬度。此外,該模型還提供了許多節省時間的功能,例如內置的自動清潔站、簡化的單步流程周期以及與通用自動化的完全集成,包括SMIF、ARM和SMCS系統。綜上所述，SEMITOOL ST 240D是一款功能強大、用途廣泛的光刻設備，旨在提供精密的微米級圖案、高通量、精密的蝕刻和抗阻控制。ST 240D擁有一系列先進的成像技術、靈活的氣體控制、自動化的清潔站，是滿足工業光刻需求的理想選擇。