二手 SEMITOOL ST 260 #9012257 待售

製造商
SEMITOOL
模型
ST 260
ID: 9012257
晶圓大小: 4"-5"
Spin rinse dryer (SRD), 4"-5" Single chamber.
SEMITOOL ST 260是一款專為半導體制造業而設計的功能齊全的光阻剝離設備。該系統利用可調節的旋轉速度,允許用戶設置特定作業所需的速度,從而消除時間和材料浪費。SEMITOOL ST-260有一個環境室,提供精確的溫度和濕度控制,以確保最佳的質量控制。它還具有用於處理多個晶圓的雙區域自旋驅動器,以及用於存儲多達六種單獨化學品的多個儲存庫。ST 260具有高性能驅動器單元和靈活的用戶界面,可用於手動和自動操作。該機器具有高分辨率彩色液晶面板顯示屏和先進的觸摸屏控制,使操作員能夠快速調整設置並監控過程。此外,ST-260還包括一個BMA(無刷磁性裝配),它允許工具精確檢測每個光刻材料條的傳輸方向。此外,它還具有強大的超聲波清洗資產,使用戶能夠在剝離過程中從整個晶圓表面清洗和沖洗化學物質。SEMITOOL ST 260還有一個化學蒸煮功能,允許隨著時間的推移優化化學用量,除了減少浪費和提高工藝效率。此外,它的預設警報功能有助於在模型性能或傳感器檢測故障出現問題時通知操作員,而其自動校準功能有助於確保設備始終正常工作。所有這些特性的結合使SEMITOOL ST-260半導體制造行業的一個全面可靠的光阻剝離解決方案。
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