二手 SEMITOOL ST 260 #9170594 待售

製造商
SEMITOOL
模型
ST 260
ID: 9170594
Spin rinse dryer (SRD).
SEMITOOL ST 260是半導體工業中用於制造高度復雜微電子器件的光刻設備。該系統由旋轉晶片級、紫外線泛光源和激光投影儀組成,用紫外線照射晶片表面。舞臺由自動化軟件控制,使用步驟重復等高級技術產生錯綜復雜的模式。SEMITOOL ST-260利用專用的激光二極管投影儀,產生高度一致的光束輪廓,非常適合在晶圓表面上創建微小的細節。這臺投影儀可以被編程為顯示一系列形狀、大小和圖案,並且可以被設置為創建各種具有不同復雜程度的光刻膠。此外,該裝置還具有用一層薄薄的光致抗蝕劑(一種對紫外線高度敏感的特殊材料)塗覆晶片的能力。光致抗蝕劑施用後,激光投影儀就可以用用戶定義的形狀和大小將晶片表面暴露在紫外線下。紫外線是由經過微調的長波長紫外線泛光源產生的,它提供了「燃燒」光致抗蝕劑暴露區域所需的能量。此過程使用戶能夠在晶片表面上創建復雜的圖樣和形狀,然後通過光刻蝕刻過程將這些圖樣和形狀傳輸到底層材料。由於軟件控制晶片級的旋轉和定位,這一過程非常精確準確,確保了曝光的一致性和可靠性。ST 260機器是一種可靠、精確的工具,能夠產生復雜的微電子器件.它易於操作,並與流程機械很好地集成在一起,從而實現了無縫的工作流程。該工具利用高精度激光二極管投影儀和UV激光源,能夠產生精密復雜的圖樣。此外,它的自動化軟件大大降低了光刻蝕刻工藝的復雜性,並確保了一致和可靠的結果。
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