二手 SEMITOOL ST 260 #9263895 待售

SEMITOOL ST 260是一種在半導體工業中使用的光阻設備，用於進行晶圓清洗、抗蝕帶、濺射清洗等多功能應用。這個系統可以支持2英寸或4英寸的晶圓。它由四個單元組成：一個濕式加工櫃、一個化學加工盒、一個沖洗站和一個DI水機。濕式加工櫃的設計目的是可靠地加工晶片，其沈積過程需要一定範圍的化學、溫度和壓力。它具有快速熱控制的高效設計，以及自動蒸氣和流量監測等先進的安全功能。櫥櫃溫度範圍在5°C至85°C之間，溫度均勻度± 2°C。化學加工盒允許用戶使用各種化學和溫度處理其晶片。沖洗站允許高精度晶片沖洗和混合操作最多同時八個晶片。DI水工具一貫產生DI水質，用於最重要的光刻膠工藝控制。SEMITOOL ST-260采用先進的抗蝕劑條帶技術進行光刻去除.資產可以處理多達2或4英寸的晶圓。在1310 nm或較短的波長下進行擴散和光致抗蝕劑剝離。條帶速率和溫度是可編程的,以獲得最佳結果.熱斜坡上升和斜坡下降功能可將溫度超調降至最低。針對光刻膠的應用，該模型還采用了先進的濺射清潔技術進行設計。這一過程可以去除晶片表面的化學殘留物和顆粒殘留物，然後才能抵抗塗層。濺射清洗的溫度範圍可達215°C,清潔時間可達45分鐘。ST 260是用於各種苛刻納米技術應用的可靠光阻處理設備。該系統的高級功能使用戶能夠始終如一地產生高質量的結果，而它的易用性使得它適合任何工業工藝生產線。