二手 SEMITOOL ST 260 #9293067 待售

製造商
SEMITOOL
模型
ST 260
ID: 9293067
Spin Rinse Dryer (SRD).
SEMITOOL ST 260是為了在製造過程中發展半導體晶圓而建造的獨立光刻設備。它是一個獨立的全自動系統,旨在在生產環境中提供最佳性能。SEMITOOL ST-260光刻裝置設計有雙炮塔機,允許兩個單獨的系統使用和操作一次。它包括兩個半自動運行和一個全自動運行,給用戶根據應用的具體需求調整過程參數的多功能性。雙炮塔工具也減少了批處理過程中使用的時間和材料。對於精密光敏處理,ST 260配備了頂級型號2200vb旋轉預對準器、解析成像資產、均勻的光斑尺寸照明器,以及高精度的X/Y載荷/卸載模型。這使用戶能夠準確控制工藝參數和光刻膠性能。此外,該設備還利用一系列反應堆來開發、剝離和鈍化光敏層。該系統還包括廣泛的樣本選擇,使用戶能夠使用各種類型的基材。光刻膠單元的性能無與倫比。它能夠處理高達200 mm的高動態晶片尺寸和大面積基板。它還提供了卓越的機器控制,使用戶能夠實現一致的過程性能和高質量的結果。該工具還提供安全功能,以確保生產環境中的安全。其中包括多軸滅火資產、自動關閉裝置和緊急停止按鈕。總體而言,ST-260光刻膠模型為用戶提供了卓越的生產環境性能。以其可靠的技術和直觀的設計,是精密光刻加工和半導體生產的理想解決方案。
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