二手 SEMITOOL ST 2600 #9216873 待售

SEMITOOL ST 2600是一種光刻設備，設計用於300 mm生產的單機和集成處理。該系統采用模塊化部件構建,便於直接維修和維護,以減少停機時間。它配備了一系列自動化和安全功能,使其成為芯片規模封裝（CSP）、SiP和3D封裝中的理想解決方案。ST 2600具有納米分辨率手動光束掃描儀,可重復性小於1 µm,用於精確對準和跟蹤曝光。它還可以選擇安裝自動對準裝置，用於擴展光刻和測試。它的單通曝光消除了多通使用模具掩蔽技術造成的陰影。這大大降低了由於先前遮罩技術的光學像差造成的圖樣極限和缺陷屈服。SEMITOOL ST 2600機器的350nm 365nm UV燈具有可調的能量輸出和高對比度的分辨率,能有效地曝光任何形狀和尺寸範圍廣泛的圖案。該工具具有較高的耐用性和較長的壽命。Photoresist Stripper可減少蝕刻時間並提高設備吞吐量。標準的噴嘴配置允許使用旋轉淋浴頭應用均勻的抗蝕塗層。ST 2600資產與Nanotech的軟件集成了過程控制、數據采集和產品監控。它可以與光學和近距離計量產品相連接，用於原位抵抗膜厚度的測量。此外，自動化模型將所有預定的程序與智能過程控制結合在一起，實現了可重復精度。溫度控制器可精確控制抵抗裝置的溫度。獨特、集成的空氣脈沖清洗模式減少了程序循環時間,消除了水和溶劑的使用.SEMITOOL ST 2600可以使用均勻的曝光特性對直徑最大69英寸的晶圓進行制圖，每晶圓最多8英寸。它還采用二氧化碳監測設備，在空氣凈化和循環利用的廢氣上加入過濾器，從而提供環境安全特性。總之,ST 2600是一種可靠可靠的光致抗蝕劑系統.易於維護，具有極好的重復性和高度的安全性。該單元的設計目的是以最經濟高效的方式提供最高精度和生產力。