二手 SEMITOOL ST 260D #105445 待售

SEMITOOL ST 260D光刻設備是一種在矽和石英等各種基板上進行蝕刻和清洗集成電路的工具。SEMITOOL ST-260D是一款高性能旋轉塗層,采用模塊化設計,便於訪問系統的所有組件,包括旋轉頭、真空、abra-sion和清潔部分。該裝置采用不銹鋼旋轉頭，可容納直徑達12.7英寸的大型基板。這樣可以使基板以可變速度均勻、連續旋轉。為確保薄膜厚度均勻一致,旋轉頭配備了電動變速控制器。旋轉速度可設置為1,800 RPM。ST 260 D提供了一個集成的真空機,將光刻膠塗在基板上.該工具包括一個獨特的卷入式卡帶，便於裝載和卸載基板。一旦加載，基板就暴露在真空中，這有助於將光致抗蝕劑拉到表面。真空資產還具有內置電容電平控制功能。這樣可以確保基板表面在應用前被正確充電，這有助於減少任何抵抗粘附的問題。在蝕刻和清潔方面，ST-260D兼具幹濕加工能力。它配備了具有侵略性清潔設置的磨料顆粒筒倉和四個浸泡桶。這樣可以用較少的工藝步驟對基板進行蝕刻和清洗。該模型還包括一個自動化晶圓傳輸設備和一個預培養室，這有助於降低資源成本和周轉時間。ST 260D光刻膠系統旨在提供最大的過程靈活性,同時幫助降低處理成本。它采用模塊化設計,易於維護和升級設備,其自動化過程有助於減少人工和錯誤。SEMITOOL ST 260 D具有廣泛的特性和功能,是各種IC制造過程的理想解決方案。