二手 SEMITOOL ST 260D #131148 待售

SEMITOOL ST 260D是用於開發和清潔集成電路（ICs）的光刻處理設備。它設計用於濕法和等離子體工藝，以實現卓越的光刻膠生命周期管理。該系統提供可選的激光對準,用於在IC上精確放置抗蝕劑掩模圖像,以及用於快速基板處理的雙盒式磁帶加載。該單元使用多級轉子來實現工藝精度和均勻性,采用模塊化方法可實現體積和單個晶圓功能。可調電阻機進一步提高了工藝產量和控制。該工具還具有集成的開銷結構,具有特定於功能的組件,包括圖形用戶界面（GUI）、觸摸屏界面和基於傳感器的控制。高密度、集成的處理器包括激光對準和雙盒式加載、優化的抗拒生命周期管理、自動化配方開發、濕化學和電化學機械拋光工藝、激光修剪和激光退火。可調多層光刻體系結構還優化了晶圓覆蓋範圍和工藝精度,而溫度控制的Spin/Spray工藝消除了對操作環境的化學暴露。具有負載/卸載端口的模塊化真空資產可確保高速、低成本的防腐處置,化學管理端口可改善過程控制並控制化學暴露。該模型還提供多級訪問控制,對跨功能用戶和供應商進行集中控制,從而在設備內實現更快、更高效的通信。SEMITOOL ST-260D是為高可靠性、高成本效率和易用性而設計的。它簡化了光刻膠加工的過程，讓製造商保持一致的產品品質，降低拒絕率，並使系統產率最大化。此外,該設備設計得非常可靠,精心設計,為IC行業提供最大性能和效率。