二手 SEMITOOL ST 260D #9195235 待售

SEMITOOL ST 260D是一種堅固的光致抗蝕劑剝離設備,可覆蓋多種水性、半水性和溶劑性光致抗蝕劑材料。憑借其先進的機械設計，該系統被設計為快速、方便地剝離小、中、大基板。該單元的設計允許對工藝參數進行精確的微調，以滿足各種工藝要求。主工藝單元由集成伺服電機驅動，該電機能夠在正反方向上進行連續或步進索引，以及變速索引。這允許控制諸如溫度、時間和壓力等過程參數。光致抗蝕劑剝離過程發生在一個200W的不銹鋼工藝室內，涉及多個淋浴頭、循環泵和加熱元件。這樣可以使材料快速加熱、均勻固化、剝離。用加熱和冷卻的護套進一步改善了熱量的交換，該護套在工藝室內提供一致的溫度。SEMITOOL ST-260D具有許多過程安全功能,有助於確保過程清潔和可重復。這些特點包括過溫保護、基板高度感測和工藝水溫控制機。這有助於防止熱沖擊對光刻膠和基板的潛在影響，以及維護工藝的操作環境。除了工藝安全功能外，該工具還融合了各種有助於降低總體運行成本的功能。這些特點包括試劑消耗量低，用水量最少，並且能夠在一個過程中處理多種底物尺寸。總體而言，ST 260 D是一種堅固的資產，能夠以安全和成本效益高的方式持續剝離各種光敏材料。憑借先進的設計和工藝安全特點，該模型為實驗室和生產設施提供了一個極好的使用平臺。