二手 SEMITOOL ST 260D #9271525 待售

SEMITOOL ST 260D光刻設備是一種多用途最優機器，使用戶能夠實現生產先進半導體器件的不同工藝和化學處理。該系統因其工藝/蝕刻時間可調、等離子體沈積均勻性、多源能力和兼容的工藝化學品而在標準光刻膠系統中脫穎而出。SEMITOOL ST-260D為用戶提供了在水平或垂直方向上最多分配三種加工化學品的能力。這種多源功能允許用戶配置其進程並控制順序蝕刻時間。此外,可調節的蝕刻時間允許復雜的工藝,從而產生高質量的薄膜和成品。為了獲得一致的薄膜特性均勻性，該單元還具有變頻調諧，允許調整等離子體沈積速率和組成。這樣可以確保整個基板上均勻的等離子體密度。ST 260 D還具有一個特殊的安全控制器,可確保完整的過程控制和化學處理安全。這臺機器的設計目的是提供先進的安全功能，如提醒用戶低氣壓和泄漏，這意味著它可以用於敏感的醫療和工業操作。就其硬件而言，這種光刻工具具有緊湊的形狀，可以方便地操縱基板，使得這種資產非常適合實驗室使用。這臺機器的總占地面積為441mm x 441mm,適合任何密閉環境。它還帶有幹式排氣過濾器模型形式的附加安全特性，減少了排放化學品的任何液滴形成。總體而言，SEMITOOL ST 260 D是一種強大而全面的光刻設備，可以實現先進的工藝。其可調的蝕刻時間、等離子體沈積的均勻性和相容的工藝化學品使該系統成為實驗室和工業應用的理想選擇。該機具有安全控制器，基板操作方便，液滴形成最小，保證了質量效果。