二手 SEMITOOL ST 270 #174250 待售

SEMITOOL ST 270是為先進的光刻工藝而設計的精密光刻設備。它被用於高性能集成電路芯片的制造，並提供創建具有納米級精度的光刻特征所需的嚴密控制。SEMITOOL ST-270系統包含一個精密步進器,該步進器具有高精度和重復性的光致抗蝕劑.步進器有兩級，基板臺和晶圓定位器。這兩個階段在X和Y軸中移動，允許在光致抗蝕劑的沈積中具有高度的精確度。它還包含一個氣體控制臺，允許在光致抗蝕劑應用過程中引入不同的大氣氣體。該單元有一個安裝在晶圓定位器級的高分辨率攝像機，可以使光刻膠層與底層基板精確對準。攝像機的分辨率以微米為單位進行測量,使工作人員能夠立即識別和診斷任何錯誤的對齊方式。機器還包含一個光刻膠分配閥，允許光刻膠沈積在晶圓上。這種閥門設計得非常精確，能夠以每秒5納米的速率沈積光致抗蝕劑。ST 270工具設計為可擴展，允許用戶增加光刻過程中必須考慮的因素數量。例如,如果用戶希望增加光刻膠層對齊過程中考慮的變量數量,則可以在資產中添加一個或兩個額外的攝像頭。總體而言，ST-270是一個可靠可靠的光刻模型，即使在最復雜的光刻工藝中也能提供可靠的結果。其高精度和分辨率，加上易於擴展和修改的能力，使其成為高端集成電路芯片制造的理想選擇。