二手 SEMITOOL ST 2700 #293602067 待售
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SEMITOOL ST-2700是為薄膜設備生產而設計的自動化光刻設備。它是一個先進可靠的系統,為薄膜器件的生產提供基板的可重復加工。該單元可處理尺寸達300毫米(mm)的基板,允許其生產薄膜晶體管(TFT)、薄膜電阻器、薄膜電容器、薄膜電感、薄膜加熱器、薄膜散熱器等設備。ST-2700具有高級、完全可編程和自動化的過程控制器,允許重復處理,以確保設備的產量一致。機載控制器還能夠實時監控流程參數,從而能夠快速檢測和解決任何潛在問題。這臺機器包括一個11層裝載機,它增加了靈活性,以適應不同的晶圓大小和類型。它具有集成的掩碼對齊器,能夠提供高精度和可重復性,並具有可變的掩碼大小和形狀。SEMITOOL ST-2700還具有現場掃描功能,可監控光刻膠層的質量和均勻性。ST-2700使用一系列兼容的光刻膠,可用於多種設備制造過程。這包括幹法或濕法,並允許各種設備類型和形狀。該工具還與各種蝕刻和提升過程兼容,允許進一步的層定制。SEMITOOL ST-2700能夠進行多種不同的設備制造過程。這些包括但不限於光刻、旋轉塗層、噴塗塗層、收縮烘烤、蝕刻、升空、高溫處理、多步金屬化、清潔工藝等熱工藝。該資產非常適合制造薄膜設備,因為它提供了高精度和可重復性,以及快速高效的工藝。ST-2700是一個自動化模型,允許可重復的過程,為設備制造提供可靠和高質量的平臺。它旨在為薄膜器件的生產提供一個有效和可靠的設備。
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