二手 SEMITOOL ST 270D #9166872 待售

SEMITOOL ST 270D是為半導體生產而設計的自動化光刻設備。它是一種先進的設備，為操作員提供了用光刻膠等蝕刻材料快速準確地對晶片進行圖樣的能力。該系統具有全自動、自成一體的設計，為所有不同類型的基板提供高效和可重現的光敏處理。該單元由四個模塊組成，以模塊化形式排列，即清潔、開發、沖洗和治療模塊。它配備了專利、自調、模塊化的機電平臺和潛水臂，使機器能夠處理各種晶圓尺寸和樣式。此外，ST 270D還有一個全自動的分配和光阻應用工具，每小時最多可覆蓋250個晶圓。該資產可以處理正負光刻膠，使其能夠蝕刻厚層和薄層沈積。SEMITOOL ST 270D還具有可調節的壓力清除噴嘴以清除任何不需要的汙染物,以及保持一致塗層密度的均勻抗噴劑模型。設備最多有五個獨立的計算機控制器，可以用定制配方編程，包括配電率、固化參數和工藝步驟定時。它能夠控制工具內部的溫度、濕度和氧氣水平，以確保一致的結果。該系統具有自動化的軌道饋送功能，並與廣泛的基板站點和彈匣兼容。此外,ST 270D還包括一個成像單元,使操作員能夠驗證流程準確性和調試問題。總體而言，SEMITOOL ST 270D是半導體工業中用於光刻膠生產的先進設備。其全自動、自成一體的設計通過可調壓力吹掃、均勻的噴霧、溫度和濕度控制以及成像機功能，確保了高效和可重現的光刻膠處理。