二手 SEMITOOL ST 270D #9211687 待售

SEMITOOL ST 270D是一種高性能光刻設備，用於生產結構精確的微電子元件。該系統允許制造商以非常小的腳印產生錯綜復雜的三維幾何形狀。它利用數字光刻和暗場成像的優勢，以確保抗蝕劑在精確的幾何形狀指定被陣列。ST 270D的光刻可用於多種光刻工藝，包括光刻、光電圖像傳遞（PEIT）、電沈積和其他微機械加工應用。光刻利用光將遮罩設計傳遞到感光材料上。這用於創建所需的結構或幾何。PEIT允許更快、更精確的陣列,從而進一步提高了幾何的成像和準確性。電沈積可產生平滑、無缺陷的表面,具有一系列機械和電氣性能,可用於高級應用。SEMITOOL ST 270D利用elektron beam lithography （EML）產生3維微觀結構。該單元可以非常精確地向25 nm結構生成三維納米結構,並可以繪制體積。可生產的結構不僅限於抵抗模式。其他材料，如金屬、電介質和復合材料也可以與EML工藝一起使用。ST 270D還利用暗場成像，確保機器產生的結構或圖樣準確精確。Darkfield imaging maximize the constist masks and substate materials and allows for greater accuracy when pattinging the masks.它還確保將背景雜波保持在最低限度,因為它無需同時查看整個基板區域,從而提高了刀具的準確性。該資產包括許多集成功能,以幫助簡化光刻過程。它具有易於操作的用戶界面，以及全自動聚焦調整和內置校準模型。此外,它還提供集成的診斷和過程控制功能、高級報告和分析功能。總之，SEMITOOL ST 270D是一種強大的光刻設備，可以用來為各種微電子元件產生復雜而精確的三維幾何形狀。它利用EML、暗場成像和其他功能來確保生成的幾何形狀準確而精確。該系統還便於用戶使用，並提供各種集成功能，以幫助簡化光刻過程。