二手 SEMITOOL ST 270D #9246163 待售

SEMITOOL ST 270D是一種光刻設備，設計用於晶圓光掩模加工的最高精度。該系統為6軸單元，具有在三維軸向位置範圍內定位和移動各種基板的能力。它具有高達50個晶圓的頂載晶圓盒式容量，可以支撐100至200毫米之間的晶圓直徑。該機還配備了支持表面活化、灰化和蝕刻的等離子體源陣列。ST 270D能夠執行光刻步驟,包括塗層、曝光和顯影.它支持多種光致抗蝕劑，包括正、負、雙色調的抗蝕劑，並能以多種波長運行，如幹、深UV（波長介於365或375納米之間）、I線（波長介於365或410納米之間）。此外，該工具還支持自旋沈積、掩模蒸發和先進的幹蝕刻方法。該資產具有可控的離子清潔和中性灰化晶片的能力，以確保光致抗蝕劑在曝光前完全沒有汙染物。它還具有提供均勻氧化物蝕刻的先進能量沈積控制（EDC）和支持蝕刻、氧化和沈積的等離子體源陣列。此外,它還具有高精度運動模型,能夠將光掩模和晶片精確定位到一定尺寸範圍,從而實現精確的圖樣化。SEMITOOL ST 270D設備還具有集成的OPC工作站,用戶可以在其中進行基於規則的設計優化,以最大程度地減少平版印刷錯誤並提高打印能力。該系統還配備了MaskEdit軟件,該軟件旨在提供最佳的曝光調制控制。最後，該單元提供了先進的產量分析工具，可用於從各種來源識別、量化和糾正與光刻有關的過程變量。